Nghiên cứu ảnh hưởng của công suất nguồn, khoảng cách Bia- để tới thành phần và cấu trúc của màng TiAgN Đặng Thái Hòa  

Nghiên cứu ảnh hưởng của công suất nguồn, khoảng cách Bia- để tới thành phần và cấu trúc của màng TiAgN

Loại tài liệu: Tài liệu giấy - LV:Luận văn

Tác giả: Đặng Thái Hòa

Nhà xuất bản:

Năm xuất bản: 2019

Tóm tắt nội dung

Luận văn trình bày các nội dung về: tạo màng TiAgN bằng phương pháp PVD trên nền vật liệu SiO2 với các tham số chế tạo khác nhau. Nghiên cứu đánh giá ảnh hưởng của một số tham số chế tạo ( công suất nguồn và khoảng cách bia - đế) tới thành phần và cấu trúc lớp màng.

Tác giả:Đặng Thái Hòa
Thông tin nhan đề:Nghiên cứu ảnh hưởng của công suất nguồn, khoảng cách Bia- để tới thành phần và cấu trúc của màng TiAgN
Xuẩt bản,phát hành:H.: 2019
Mô tả vật lý:68tr.
Mật khẩu:

(Yêu cầu có hiệu lực trong vòng 02 ngày kể từ ngày gửi yêu cầu)

TỪ KHÓA

Tài nguyên khác